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產(chǎn)品型號(hào)：CG-H20
產(chǎn)品型號(hào)：SHD6-BE
產(chǎn)品型號(hào)：CG-920
產(chǎn)品型號(hào)：CGSR系列
產(chǎn)品型號(hào)：CGST3100
產(chǎn)品型號(hào)：CG-MLC6
產(chǎn)品型號(hào)：MSD-150D
產(chǎn)品型號(hào)：MSD-150D
產(chǎn)品型號(hào)：MSC-75T
產(chǎn)品型號(hào)：MSC-75T
產(chǎn)品型號(hào)：MSC-200T-D
產(chǎn)品型號(hào)：MSC系列
技術(shù)文章
半導(dǎo)體涂膠均勻性提升方法：從工藝到設(shè)備的全維度優(yōu)化半導(dǎo)體涂膠作為光刻、蝕刻等核心制程的前置關(guān)鍵步驟，其膜厚均勻性直接影響芯片圖形轉(zhuǎn)移精度、電性能一致性及良率。提升涂膠均勻性需圍繞“材料適配、設(shè)備校準(zhǔn)、工藝調(diào)控、環(huán)境管控”四大核心維度，通過系統(tǒng)性優(yōu)化實(shí)現(xiàn)納米級(jí)膜厚偏差控制，具體方法如下：一、材料特性精準(zhǔn)匹配與預(yù)處理-優(yōu)化光刻膠配方參數(shù)：根據(jù)涂膠方式（旋涂、狹縫涂膠、噴霧涂膠）調(diào)整黏度、表面張力及固含量，例如旋涂工藝需降低高黏度膠的剪切稀化效應(yīng)，狹縫涂膠則需保證膠液在接觸晶圓時(shí)的...
在任何涉及薄膜材料的工業(yè)與科研領(lǐng)域，薄膜的厚度是其物理、化學(xué)、電學(xué)及光學(xué)性能的決定性因素之一。從納米級(jí)的芯片柵氧層，到微米級(jí)的光學(xué)鍍膜、光伏薄膜，厚度上埃級(jí)（?）的偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能的巨大差異甚至失效。膜厚測量儀作為薄膜工藝的“眼睛”，通過非接觸、無損的精密測量，為工藝開發(fā)、質(zhì)量控制和科學(xué)研究提供著定量數(shù)據(jù)支撐。一、多技術(shù)原理：應(yīng)對(duì)不同的測量需求不存在一種“萬能”的膜厚測量技術(shù)，各類儀器基于不同物理原理，適用于特定場景。常見的膜厚測量儀主要包括：1、橢圓偏振儀：這是測量透...
旋涂儀又稱勻膠機(jī)、甩膠機(jī)等，是一種用于在基片表面均勻涂覆液體薄膜的設(shè)備。是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、微電子、光學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室及生產(chǎn)設(shè)備，其核心功能是在基片(如硅片、玻璃片、聚合物片等)表面均勻涂覆液體薄膜(如光刻膠、聚合物溶液、生物材料等)。將液體材料滴加到靜止或低速旋轉(zhuǎn)的基片中心，基片在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn)，離心力使液體材料從中心向外鋪展，隨著旋轉(zhuǎn)速度穩(wěn)定，液體材料在基片表面形成均勻的薄膜。對(duì)于含溶劑的液體，旋轉(zhuǎn)過程中溶劑揮發(fā)，形成固態(tài)或半固態(tài)薄膜。旋涂...
當(dāng)目光聚焦于材料表面的薄膜層時(shí)，一把精準(zhǔn)無比的“尺子”變得至關(guān)重要，這把神奇的尺子便是我們的膜厚測量儀。它以其精度和敏銳度，探索著微觀世界中薄膜厚度的秘密。這款膜厚測量儀采用了前沿的光學(xué)干涉原理與先進(jìn)的信號(hào)處理技術(shù)。通過發(fā)射特定波長的光波照射到被測薄膜表面，并接收反射回來的光信號(hào)進(jìn)行分析計(jì)算，從而得出精確到納米級(jí)別的薄膜厚度值。無論是透明導(dǎo)電氧化物薄膜、光學(xué)增透膜還是功能性涂層，它都能輕松應(yīng)對(duì)，給出準(zhǔn)確可靠的測量結(jié)果。其操作便捷性令人贊嘆不已。簡潔直觀的操作界面使得即便是非專...
在半導(dǎo)體芯片、顯示面板、光學(xué)器件等制造領(lǐng)域，一層厚度均勻、性能穩(wěn)定的薄膜往往是決定產(chǎn)品成敗的關(guān)鍵。而實(shí)現(xiàn)這一關(guān)鍵步驟的核心設(shè)備，正是被譽(yù)為“薄膜魔法師”的勻膠機(jī)（SpinCoater）。它通過離心力的精準(zhǔn)控制，將液態(tài)的光刻膠、聚合物、金屬溶膠等材料，轉(zhuǎn)化為微米甚至納米級(jí)別的高質(zhì)量薄膜，是微納加工流程中的核心裝備。一、核心工作原理：離心力下的“薄膜舞蹈”勻膠機(jī)的工作原理基于經(jīng)典的流體力學(xué)與離心力效應(yīng)，整個(gè)過程可概括為四個(gè)連續(xù)且精密的階段：1.滴膠（Dispensing）：將定量...
桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)是專為實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、小批量生產(chǎn)設(shè)計(jì)的小型化涂布設(shè)備，憑借體積小巧、操作簡便、性價(jià)比高等核心特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于高校實(shí)驗(yàn)室、新材料研發(fā)、小型電子元件制造等領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)光刻膠、涂料、油墨、生物試劑等多種樣品的通用涂布，是兼顧實(shí)用性與經(jīng)濟(jì)性的涂布解決方案。?小型化設(shè)計(jì)與通用適配是核心優(yōu)勢。設(shè)備采用桌上型緊湊結(jié)構(gòu)，占地面積僅0.1-0.3㎡，重量10-20kg，可直接放置于實(shí)驗(yàn)臺(tái)或小型生產(chǎn)線，無需專用安裝空間。采用開放式樣品放置平臺(tái)，搭配可更換的基片夾具，適配2英寸至6英寸的...
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